铁电测试仪是一款可以兼容多种功能的铁电综合测试系统,即用于铁电体的铁电性能测量、可用于铁电体的科学研究及近代物理实验中的固体物理实验以及工业化生产铁电存储器的铁电性能检测中。本测试系统主要包括可编程信号源、微电流放大器、积分器、放大倍数可编程放大器、模/数转换器数/模转换器、微机接口部分、微机和应用软件等部分组成。
铁电测试仪主要由正弦波、三角波、间歇三角波、梯形波发生器及正、负矩形脉冲和双极性双脉冲发生器外加铁电材料电滞回线、I-V特性及开关特性测量电路构成。适用于铁电薄膜、铁电体材料的电性能测量,可测量铁电薄膜电滞回线、IーV特性及开关特性,可地测出具有非对称电滞回线铁电薄膜的Pr值。可测铁电体材料的电滞回线及IV特性。同时也可作为ー台通用信号发生器、高压信号发生器使用。
一、测试系统:
本测试系统采用虚地模式测量电路,与传统的Sawyer- Tower模式相比,此电路取消了外接电容,可减小寄生元件的影响。此电路的测试精度仅取决于积分器积分电容的精度。减少了对测试的影响环节,比较容易定标和校准,并且能实现较高的测量准确度。它不仅能画出铁电薄膜的电滞回线,还可以定量得到铁电薄膜材料的饱和极化Ps、剩余极化Pr、矫顽场Ec、漏电流lk等参数,以及对铁电薄膜材料的铁电疲劳性能、铁电保持性能的测试。能够较准确地测量铁电薄膜的铁电性能。仪器采用一体化设计,实现测试结果全数字化,操作简单方便。
铁电测试仪主要软件功能:
采用labview系统开发,符合导体、半导体材料的各项测试需求,具备稳定性,并具备断电资料的保存功能,图像资料可保存恢复,兼容,XP、win7、win10系统。
本测试系统由主控器、高压放大器、变温综合测试平台(配铁电测试盒)或高低温探针台(配高压探针)、计算机及系统软件部分组成。主控器集成了可编程波形发生器、内置驱动电压、电荷积分器、可编程放大器、模数转换器、通讯总线等功能,主控器提供扩展外置高压放大器接口,可扩展±5 kV或±10 kV的高压放大器。系统软件包括可视化数据采集和管理功能,测试时,无需改变测试样品的连接,即可实现滞回,脉冲,漏电,IV等性能测试。
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